本案例介绍利用衍射扩散器使准分子激光光束均匀化,通过优化扩散器以生成一个圆形的top hat。 关键词:衍射光学,衍射光学元件,均匀(homogenization),扩散器,准分子激光,部分相干 所需工具箱:Starter Toolbox Premium 相关Tutorials:HSL.1, DO.2 建模任务 衍射扩散传输器 目标平面
强度分布
照射光束参数 ·光源面尺寸:100×100um ·发散角(HWHM):0.89×0.89° ·空间相干长度:3×3 um ·波长:351nm
衍射发散器
·取样间隔:5um ·尺寸:640×640um
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